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ES650自动化探针系统
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更新时间:2025-11-12  |  阅读:226

详情介绍

ESDEMC Technology LLC 由 Wei Huang 于 2011 年 3 月在美国密苏里州罗拉创立。ESDEMC 开发 ESD 和 EMC 解决方案。公司致力于提供创新、先进、高质量和具有成本效益的解决方案以及一般咨询、测试服务和定制项目。产品包括充电设备模型 (CDM) 系统、电缆放电事件 (CDE) 系统、ESD 模拟器、脉冲衰减器、电流探头、用于射频发射/免疫的 TEM 电池、高压直流电源、定制的高压/射频设计。ESDEMC Technology 自 2012 年以来一直是 ESD 协会的企业会员。


ES650自动化探针系统是一种2针探测解决方案,适用于封装级、晶圆级和电路板级器件上的HBM、MM、TLP、HMM、CC-TLP、LI-CCDM、RP-CCDM和CDM(JS-002)测量的自动化探针台。除ESD测试解决方案外,ES650还可单独用于其自动化探测功能,使以下探针应用达到精确自动化:射频测量、I-V曲线跟踪和许多其他需要精确探测的应用。探测系统使用两个独立控制的(左和右)XYZ机架,带有探针,用于接触芯片或晶圆上的引脚或焊盘。ES650不需要插座PCB,与基于继电器的解决方案相比,寄生效应更少。此外,该系统还支持多器件测试,可实现多器件自动分类的测试中故障检查和停止判断标准。


探针测试是器件测试中非常耗时的一部分,尤其是对于采用HBM的高引脚数器件,大多数引脚都需要通过所有可能的2引脚组合进行测试。全自动测试系统可以大大提高测试效率,减少时间和测量误差。


除HBM脉冲模块外,ES650还提供用于其他脉冲测试的模块,如MM和HMM,以及CDM类型的解决方案,如FICDM、LI-CCDM、CC-TLP和RP-CCDM(一种正在申请的基于接触式第一继电器的CDM方法)。该系统还能为TLP、EOS、射频探测等其他测试方法提供机械测量。


产品特点

● 通过每个探针臂上的高分辨率摄像头可轻松实现针脚对准

● 高精度运行控制系统(最小精度1微米)

● 批量器件测试

● 漏电探测

● 自动防撞

● 测试时可通过摄像头观察探针接触情况

● 可定制测试尺寸,适合所有类型的器件测试要求

● 电流探头采用近DUT设计

● 设备配套程序

● HBM测试模块

● 数据分析


产品应用

● 全自动2针探测系统

● S测试多种流行的ESD标准和方法,具有泄露测试功能:

√ ANSI/ESDA/JEDECJS-001-2017 (HBM) 

√ ANSI/ESDASTM5.2-2019  (MM)

√ ANSI/ESDASP5.6-2009 (HMM)

√ ANSI/ESDASTM5.5.1-2016  (TLP)

√ ANSI/ESDA/JEDECJS-002-2018  (FICDM)

√ CC-TLP (ESDA SP 待定,需要VF-TLP)

√ ANSI/ESDSP5.3.3-2018  (LI-CCDM, 需要 VF-TLP)

√ RP-CCDM测试(申请中) 

√ 可以按需定制  


ES650自动化探针系统产品规格

型号ES650-150ES650-300单位备注
XY测试范围≥ 150X150≥ 300X300mm探针臂测试范围
Z轴行程≥ 50mm
X,Y,Z步长1μm
重定位精度≤ ±6μm
测试电压范围
±1 to 2000 or 12000V可定制
测试电压步长1V
测试电压精度± 1%±0.1V% V
XY分辨率1920 X 1080像素支持缩放与移动
主摄像头分辨率2592 X 1944像素支持缩放与移动
工作温度10 to 40(°C)
工作湿度10 to 80%
供电120-240 VAC, 50/60 HzVAC























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